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利用高壓電離(或化學、光化學反應)，使空氣中的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變過程;亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩定性使其很難實現瓶裝貯存，一般只能利用臭氧發生器現場生產，隨產隨用。
一、發生器與放電管
臭氧系統的技術和設備是發生器中的放電管，直接影響設備的運行效率和可靠性。臭氧發生器采用微間隙介質阻擋放電設計，不僅大大提高了運行的效率，而且增加了系統連續運行的安全可靠性。設備的技術參數已經達到水平。
由于采用微間隙放電技術，使系統運行電壓降低為6-8 kV，遠低于玻璃管絕緣介質的耐壓水平，有效地避免了介質擊穿短路故障的發生，提高了運行可靠性。
臭氧發生器放電單元所采用的模塊化設計方法，使設備的安裝，檢修和維護工作更加容易。在保證進氣氣源質量的條件下，臭氧發生器放電單元連續運行的免維護時間可以長達5年。
 

二、高頻高壓電源
與傳統的臭氧中頻
電源不同，山東華林臭氧系統采用4kHz的高頻電源技術，結合微放電間隙設計可以有效提高臭氧生成的效率，減小發生器的體積和占地空間，從而減少土建設計及投資費用。逆變電源系統采用美國成熟的高頻電源技術，現場運行證明可以保證系統運行的穩定性。高頻輸出經升壓系統后產生正弦波高電壓，經電纜與發生器相連，在高頻高壓的作用下，放電間隙產生冷態等離子體放電生成臭氧。
二、、冷卻系統
雖然現代臭氧發生器的效率與傳統產品相比已經明顯提高，但有90%左右的電能不是用來生成臭氧而是轉變成熱量，如果這部分熱量得不到有效的散失，臭氧發生器放電間隙的溫度會持續升高甚超過設計的運行溫度。高溫不利于臭氧的產生但利于臭氧的分解，導致臭氧產量和濃度下降。我們設計單循環冷卻水單元;當冷卻水溫度超過系統設計溫度或水量不足時，系統會自動發出報警信號。紫外線式臭氧發生器是使用特定波長(185nm)的紫外線照射氧分子，電解式臭氧發生器電解式發生器通常是通過電解純凈水而產生臭氧。這種發生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發生器的條件。